фотолитография
1Труды ФТИАН. Том 19. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование (2008)
Сборник посвящен актуальным проблемам математического моделирования субмикронных технологий и квантовых… 546 руб2Создание иллюстраций , Отто Крюгер (1929)
Лейпциг, 1929 год. Издательство VEB F. A. Brockhaus. Книга с 265 черно-белыми рисунками в тексте и 90 цветными… 9310 руб3Труды ФТИАН. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектоника. Том 19 (2008)
Сборник посвящен актуальным проблемам математического моделирования субмикронных технологий и квантовых… 426 руб4Труды ФТИАН. Том 19. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование (2008)
Сборник посвящен актуальным проблемам математического моделирования субмикронных технологий и квантовых… 551 грн (только Украина)